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【导语】走进杭州昆泰磁悬浮技术有限公司的调试车间，研发人员正忙着调试(shì)一(yī)款(kuǎn)银(yín)色(sè)圆(yuán)筒(tǒng)设(shè)备(bèi)——磁(cí)悬(xuán)浮(fú)分(fēn)子(zi)泵(bèng)。这(zhè)款(kuǎn)被(bèi)誉(yù)为(wèi)半(bàn)导(dǎo)体(tǐ)制(zhì)造(zào)“真(zhēn)空(kōng)心(xīn)脏(zàng)”的(de)关键设(shè)备(bèi)，不(bù)仅(jǐn)打(dǎ)破(pò)了(le)国(guó)外(wài)技(jì)术(shù)垄(lǒng)断(duàn)，还(hái)实(shí)现(xiàn)了(le)国(guó)产(chǎn)化(huà)率(lǜ)的(de)“零(líng)的(de)突(tū)破(pò)”。杭(háng)州(zhōu)昆(kūn)泰(tài)凭(píng)借(jiè)其(qí)核(hé)心(xīn)研(yán)发(fā)团(tuán)队(duì)的(de)努(nǔ)力(lì)，不(bù)仅(jǐn)在(zài)磁(cí)悬(xuán)浮(fú)分(fēn)子(zi)泵(bèng)领(lǐng)域取(qǔ)得(de)了(le)显(xiǎn)著(zhe)成(chéng)就(jiù)，还(hái)将(jiāng)其(qí)磁(cí)悬(xuán)浮(fú)技(jì)术(shù)广(guǎng)泛(fàn)应(yīng)用(yòng)于(yú)多(duō)个(gè)领(lǐng)域。政(zhèng)府(fǔ)的(de)支(zhī)持(chí)与(yǔ)良(liáng)好(hǎo)的(de)创(chuàng)业(yè)氛(fēn)围(wéi)，更(gèng)为(wèi)企(qǐ)业(yè)的(de)持(chí)续(xù)创(chuàng)新(xīn)与(yǔ)发(fā)展(zhǎn)注(zhù)入(rù)了(le)强(qiáng)大(dà)动(dòng)力(lì)。

走(zǒu)进(jìn)调(diào)试(shì)车(chē)间(jiān)里(lǐ)，研(yán)发(fā)人(rén)员(yuán)正(zhèng)在(zài)调(diào)试(shì)一(yī)种(zhǒng)银(yín)色(sè)圆(yuán)筒(tǒng)设(shè)备(bèi)——磁(cí)悬(xuán)浮(fú)分(fēn)子(zi)泵(bèng)。这(zhè)看(kàn)似(shì)普(pǔ)通(tōng)的(de)装(zhuāng)置(zhì)，被(bèi)称(chēng)为(wèi)半(bàn)导(dǎo)体(tǐ)制(zhì)造(zào)“真空心脏”的关键设备，在过去完全依赖进口。

前不久，在杭州市科技局组织的媒体采风调研活动中，记者来到了杭州昆泰磁悬浮技术有限公司（以下简称“杭州昆泰”）近距离接触到磁悬浮分子泵。

“可别小看这个不起眼的泵。”杭州昆泰研发总监韩雪笑着说，“它打破了国外企业的技术垄断，实现了我国磁悬浮分子泵国产化率‘零的突破’。”

什么是磁悬浮分子泵？它相当于一种真空获得设备，如同一个“超级清洁工”，将封闭空间里的气体分子快速“清扫”出去，让空间达到几乎没有气体分子的状态。

这与日常生活中，人们使用真空收纳袋的原理有些类似，人们通过手动抽气泵或者电动抽气泵，按压时，使抽气泵内的压力大于收纳袋内气压，从而将袋内的空气强制排出。

而磁悬浮分子泵则是让泵内转子高速旋转，借助分子碰撞和拖曳作用，将气体分子，从真空室的一端输运到另一端，从而实现抽气。

韩雪介绍，在制造芯片过程中，需要将腔体保持极高的真空度。“传统机械泵就像‘油烟机’，轴承中的润滑油会污染芯片；而我们的磁悬浮分子泵就像‘无叶风扇’，可以使轴承完全悬浮，进行无接触运行。”

磁悬浮分子泵主要依赖磁悬浮轴承技术，研究人员利用磁悬浮原理，使得分子泵内的转子，在运转过程中处于悬浮状态，避免了机械接触，减少了摩擦和磨损，从而实现更快的旋转速度。

“要快速抽取真空，叶轮需在高速旋转下保持稳定，这是研发过程中的一大难题。” 韩雪说，叶轮是磁悬浮分子泵里的关键部件，主要用于抽气。叶轮尺寸较大，却要实现每分钟 24000次的高速旋转，对控制要求极高。

为此，团队经过两年的反复迭代验证，最终攻克难题，确保叶轮在高强度旋转下依然保持稳定。

“我们不仅解决了‘卡脖子’问题，还实现了部分性能反超。”韩雪介绍，如KTP-304磁悬浮分子泵抽速达350-570L/s，比国际主流产品高出20%以上，价格却只有进口设备的70%-80%。

在(zài)昆泰的展厅里，陈列着各种“磁悬浮+”产品：磁悬浮纺机电机、磁悬浮氢气循环泵、磁悬浮厨电风机……这些创新的背后，离不开团队的努力。

杭州昆泰“脱胎”于实验室，核心研发团队源自北京航空航天大学（以下简称“北航”），公司拥有 80 余人的技术团队，其中博士及博士后共33 人，具备近 20 年的设计、研发及应用经验。

目前除了半导体领域，这项源自北航院士团队的磁悬浮技术，还在科研、精密仪器、工业、氢能源汽车及家用等领域大显身手。

“我们从高校出来创业，对技术钻研较深，但对政策了解有限。”韩雪坦言，“政府各级部门经常来企业调研，主动送来惠企政策，指导项目申报，还积极帮助技术人员解决落户安家问题，让大家能全身心投入创业和技术攻关。”

良好的创业氛围，给企业有了继续向下扎根的信心。“接下来，将继续在原有的基础上，完善产品性能，持续完善产品矩阵，在高端装备自主化的道路上坚定前行。”韩雪表示。